Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程 范围从10Torr 到1000Torr。测量单位可以是Torr, mbar/hpa, kpa 或psia。Model760 的 工作电压是 15VDC, 输出0-10VDC 或0-5VDC, 输出与压力成线性关系,而且与气体成分 无关。电气连接件可以是工业标准15 针D 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和ESD 抑制元件以及输入输出的RFI 过滤等技术,Model 760 具有卓越的EMI/RFI 性能。 Model 760 有一个完整的滑面,很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。 Inconel 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压力和真 空接头。Model 760 中高精度的压力传感元件Vactronsensor, 是在Setra 专利技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件中央有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra 独特的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号,该集成电路是根据西特专利技术负荷平衡原理设计的。Model 760 采用革新的传感设计获得了卓越的零点稳定性和大气压非敏感性。Model760 传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。 注:Setra 坚持严格的质量标准ANSI-Z540-1。此产品的标定源于NIST。 应用: 半导体过程工具和装置 实验室和研究开发 实验和测量 度量 分析化学系统
产品特点: 卓越的热稳定性 出众的EMI/RFI 性能 低价位 小巧紧凑的结构 耐腐蚀的Inconel 湿部件 多种压力连接和电气连接方式 符合CE 标准 |
性能参数: 精度A:±0.25% of Reading 精度B:±0.15% of Reading 耐压:45psia 分辨率:无限,仅受输出噪声的限制(0.01%FS ) 时间常数:<20ms
温度影响: 量程漂移:±0.027%RDG/℃ 零点漂移:±0.005%FS/℃ 补偿范围:0~+50℃(+32~+122℉)
物理参数: 零点/满程调节:多匝电位计(在滑面底部) 重量(约): 260克(约9盎司) 压力介质:与Inconel或Inconel/不锈钢相容的气体.Inconel湿部件仅配0.5管的接头,选择其它的接头增加不锈钢. 压力连接:见订购信息 电气连接:15针D型插座或6位螺纹接线端子 壳体:铝合金 腔体体积:<6立方厘米
电压输出: 功耗:<0.5W(<15mA) 输出:0-10VDC或0-5VDC 激励:±15VDC,调整范围±5% 电路:4线
环境参数: 存储温度:-50~+125℃ 工作温度:0~+50℃
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