可探测气体

浓度含量

氨气（NH3）

0~100ppm

氰化氢 (HCN)

0~30ppm

砷烷（ AsH3）

0~0.50ppm

氟化氢 (HF)

0~10ppm

溴气 (Br2)

0~5.00ppm

硫化氢 (H2S)

0~100ppm,0~50ppm

一氧化碳 (CO)

0~300ppm

一氧化氮 (NO)

0~100ppm

氯气 (Cl2)

0~5.00ppm

二氧化氮 (NO2)

0~50.0ppm

乙硼烷（ B2H6）

0~1.00ppm

臭氧 （O3）

0~1.00ppm

氟气 (F2)

0~5.00ppm

氧气 (O2)

0~25%

锗烷 (GeH4)

0~5.00ppm

光气 （COCl2）

0~1.00ppm

六甲基二硅烷 (HMDS)

0~1000ppm

磷化氢 /磷烷 (PH3)

0~1.00ppm

联氨（ N2H4）

0~1.00ppm

硅烷 (SiH4)

0~50ppm

氢气 (H2)

0~4%,0~0.20%

正硅酸乙酯 (TEOS)

0~100ppm

溴化氢 (HBr)

0~30ppm

氯化氢（ HCl）

0~30ppm

其他气体