矽翔微机电系统有限公司制造的MEMS系列氧浓度传感器产品是专门为氧气机或制氧机而设计的。该自主知识产权的传感器能同时测量空气中氧气的浓度以及气体的流量。既可以单独作为气体流量传感器也可以单独作为氧浓度传感器使用。不同于传统的氧电池方式测量氧浓度，本产品具有响应快，寿命长、无衰减（失效）的独特性能。本产品也可以用于其它两相混合气体的动态浓度和流量的测量（需事先校准）。 
    矽翔微机电系统有限公司设计、制造的微流量传感器产品采用了与氧气浓度传感器相同的封装方式。气体测量范围从0～0.2mL/min到0～20L/min以供各类用户选择。
主要应用
   • 氧气机或制氧机动态氧浓度及流量测量
   • 环境监测气体采样
   • 气体分析仪
   • 过程控制
   • 两相混合气体的浓度和流量

	FSC1010	FSC1015	单位
流量范围	0～3	5	SLPM
精度	±（1.5+0.5FS）	±1.5	%读数
流量重复性	±0.75	±0.75	%读数
氧浓度范围	21～100	21～100	%读数
氧浓度精度	±2.5	±2.5	%读数
氧浓度重复性	±1.0	±1.0	%读数
最大压力	< 0.3	< 0.3	Mpa
工作温度	-10～55	-10～55	℃
供电电压	8～24	8～24	V
响应时间	0.1	0.1	s
最大压损	< 300	< 300	Pa
通讯接口	RS232	RS232