专门为各类小流量气体测量和过程控制设计的微机电气体质量传感器可根据客户的具体应用要求来订做。这类传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作。产品适用于各类清洁气体的应用。独特的封装技术使之可应用于各类管径（3～50mm）。成本低、易安装、不需温压补偿，可替代容积式或压差原理的传统流量计并可配以多种信号输出，通过通讯接口实现网络管理功能。

产品特点
   • 传感器灵敏度搞，极小的始动流量
   • 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度及压力补偿，保障了传感器的高精度计量 
   • 在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
   • 8～24V供电
   • 传感器零点稳定度较传统的热式质量流量计有极大的改善 
   • 结合二次仪表的微控制器智能技术，使该流量传感器重复性好，实现了计量准确可靠
   • 独特的封装技术采用直接测量，无需旁路，压力损失大幅度减小
   • 与智能流量计算机相连，可远传数据，也可现场显示
   • 本传感器有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理
   • 用户根据需要可以选择4～20mA输出、电平输出或脉冲输出模块
   • 体积小、安装方便
   • 可用于小至3mm的管径，特别对于微流量测量和控制有其独特的优越性

型号	FSG4003	FSG4008	FSG4000S-1	FSG4000S-2	FSG5000
适用介质	清洁气体	清洁气体	清洁气体	清洁气体	清洁气体
压力/温度	小于0.7Mpa/-10~60℃	小于0.7Mpa/-10~60℃	小于1.5Mpa/-10~60℃	小于1.5Mpa/-10~60℃	小于1.5Mpa/-10~60℃
通径范围攻	3.6mm	8mm	3-15mm	5-25mm	15-50mm
测量精度	±(2.0+0.5FS)%	±(1.5+0.5FS)%	±(1.5+0.5FS)%	±(1.5+0.5FS)%	±(1.5+0.5FS)%
重复性	±0.75%	±0.75%	±0.75%	±0.75%	±0.75%
供电	8~24VDC	8~24VDC	8~24VDC	8~24VDC	8~24VDC
输出	RS485	RS485	RS485/4~20mA	RS485/4~20mA	RS485/4~20mA
安装连接	锥形管	NPT	NPT/BSPT	NPT/BSPT	NPT/BSPT

型号	FSG4003	FSG4008	FSG4000S-1	FSG4000S-2	FSG5000
材料	聚碳	聚碳	304或316不锈钢 其它材料可选取	304或316不锈钢 其它材料可选取	304或316不锈钢 其它材料可选取

通径(mm)	流量范围(NL/min)				流量范围(Nm3/h)
	FSG4003	FSG4008	FSG4000S-1	FSG4000S-2	FSG5000
3	0-1 0-2 0-3 0-4 0-5 (通径3.6mm)	0-10 0-15 0-20 0-25 0-30 (通径8mm)	0-4
4			0-8
5			0-10	0-10
6			0-15	0-15
10			0-30	0-30
12			0-50	0-50
15			0-65	0-65	0-35
20			0-100	0-100	0-65
25				0-200	0-100
32				0-300	0-160
40					0-250
50					0-400