矽翔微机电系统有限公司的防爆型MEMS气体质量流量计采用独有的世界领先的MEMS质量流量传感器技术，可用于各种工业类气体计量、监测和控制。流量传感器安装于气体流速最大的管道中心处。智能电子电路使用户读取数据和控制操作都简便快捷。无线功能选项可实现对流量计的实时远程监控。
    防爆认证类别为 Ex ia IIC T4 (证书号: GYB06443) 
主要应用 
    1. 城市工业、商用天然气贸易计量
    2. 工业用气体贸易计量 
    3. 工业用气体测量及过程控制 
    4. 除乙炔外的洁净气体测量和监控  
主要功能
   • 实时显示瞬时流量和累计流量
   • 不同气体应用可选择相应修正因子
   • 自动断电/故障记录和数据管理
   • 可充电备用电源 
   • RS232/RS485数字信号输出
   • 标准法兰/螺纹连接 
   • 用户界面软件
   • 表头可以限位旋转180°，以适应各种不同的安装位置
   • 4～20mA或脉冲输出（选项）
   • 无线传输功能（选项）

MF系列
范围度	＞100：1
精度	1.0级：1.5级
重复性	±0.75%
最大工作压力	4.0MPA
环境温度	-20~60℃
介质温度	-10~55℃
温度	≤95%RH
LCD显示	总量(NM3),流量(NM3/H)
供电方式	8~24VDC;110/220VAC(适配器供选)
校准条件	可根据用户要求进行实际介质标定;20℃;101.325KPA
材料/机械连接	不锈钢;法兰/NPT/BSPT
数据存储	可自动存储数据
输出(选项)	RS485;4~20MA;脉冲
用户控制(选项)	用户界面软件

型号规格	连接方式	通径mm	L	H	D	d	K	n-L	参考标准
MF25	F	25	300	300	115	25	85	4-φ14	GB/T-9116.1-2000 带颈平焊钢制管法兰
MF50	F	50	360	330	165	50	125	4-φ18
MF80	F	80	500	345	200	80	160	8-φ18
MF100	F	100	600	365	220	100	180	8-φ18
MF25	N/B	25	300	200	--	25	--	--	CANSIB1.20NPT等效GB/T12716-2002
MF50	N/B	50	360	238	--	50	--	--
MF80	N/B	80	500	265	--	80	--	--	BSPT：ISO7/1等效GB/T7306-2000
MF100	N/B	100	600	305	--	100	--	--