矽翔微机电系统有限公司制作的非防爆类的MEMS气体质量流量计可用于常规环境工业气体的计量、监测和控制。
这类流量计的封装可根据用户的具体使用要求来设计、制造。从而使得其应用领域更加广范。流量传感器可采用插入式、内壁封装式等多种的安装形式，以适用于气体管径、流量范围等不同的需求。 
主要应用
   1. 工业用气体测量及过程控制
   2. 压缩空气流量测量和控制 
   3. 氯气流量测量和控制    
主要功能 
   • 实时显示瞬时流量和累计流量
   • 不同气体应用可选择相应修正因子
   • 自动断电/故障记录和数据管理
   • 可充电备用电源 
   • RS232/RS485数字信号输出 
   • 标准法兰/螺纹连接 
   • 用户界面软件 
   • 4～20mA或脉冲输出（选项）
   • 无线传输功能（选项）

型号	MFG5000	MFG4000	MFG3000	MFGX4022
适用介质	清洁气体	清洁气体	清洁气体	清洁气体
压力/温度	＜1.5Mpa/-10~60℃	＜1.5Mpa/-10~60℃	＜1.5Mpa/-10~60℃	＜0.2Mpa/-5~50℃
适用范围	15~50mm	5~25mm	3~15mm	16.5mm
测量精度	±(2.0+0.5FS)%	±(1.5+0.5FS)%	±(1.5+0.5FS)%	±(1.5+0.5FS)%
重要性	±1.0%	±0.75%	±0.75%	±0.75%
供电	8-24VDC	8-24VDC	8-24VDC	8-24VDC
输出	LCD显示/RS485	LCD显示/RS485	LCD显示/RS485	LCD显示/RS485
安装连接	NPT/BSPT	NPT/BSPT	NPT/BSPT	ISO-22mm
机械尺寸 材料	304划316不锈钢 其它材料可选	304划316不锈钢 其它材料可选	304划316不锈钢 其它材料可选	聚碳