。高精度测量系统 
。选择不同型号，适合一般应用，轴承或光学非球面测量 
。可提供12.5mm测量范围，分辨率高达0.8nm 
。强大的2D或3D多种软件 
其中非球面系统功能为： 
1、可完成非球面形状参数和粗糙度参数分析，进行实际形状与理论形状比较分析 
2、SAG表格：可按光学软件格式，输出整个面形各点的矢量高和斜率对应表 
传动长度200毫米或120毫米 
传感器测量范围：12.5mm/8mm/4mm 
传感器分辨率0.8nm/4nm/8nm 
用于通用测量/轴承测量/光学非球面测量

(1) 类型：位相光栅干涉 
(2) 测量量程：4mm (使用60mm长金刚石测杆，同时测量粗糙度和轮廓) 
8mm (使用120mm长球形测杆，测量轮廓) 
(3) 分辨率：4mm量程时3.2nm 
(4) 量程与分辨率之比：1,250,000:1 
(5) 测量力：1mN(60mm测针)；20mN（120mm测针） 
(6) Z轴非线性度：0.07um + 0.03Zum (mm)